小功率微波微等离子体的研究

小功率微波微等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子(纳电子)技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术。本课题组对基于2.45GHz小功率微波微等离子体源的结构和系统集成技术作深入的研究，选用不同材料（氧化铝陶瓷、聚四氟乙烯等），采用MEMS工艺对基于微带缝环谐振器和平面渐变螺旋线圈的小功率微波微等离子体源进行了研究和优化，并研制了频率可调和功率可调的集成小功率微波微等离子体源。研究成果将有助于更好解决小功率微波微等离子体的可控和集成的问题。